壓力傳感器技術及其應用
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壓力傳感器廣泛應用于水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電 力、船舶、機床、管道等工業(yè)自控環(huán)境中。
傳統(tǒng)的測力方法是利用彈性材料的形變和位移來表示，它的體積大、便攜性差 輸出信號是非電量。隨著微電子的發(fā)展，半導體壓力傳感器的出現，使壓力傳感器 有了長足進步。試驗機壓力傳感器的種類繁多.按照制作原理可以分為利用壓電效應制成的壓電式傳 感器、利用壓阻效應制成的壓阻式傳感器和利用應變效應制成的應變式傳感器。這些傳感器利用不同的原理和不同的材料在不同場合發(fā)揮著重要作用。壓電傳感器只能用于動態(tài)測量，這是因為外力作用在壓電元件上產生的電荷只有在無泄漏的情況下才能保存，需要測量回路具有無限大的輸人阻抗，這實際上是不可能的，因此壓電式傳感器不能用于靜態(tài)測量。壓電傳感器主要應用在加速度、 壓力和力等的測量中。壓阻式傳感器對靜態(tài)和動態(tài)的測量都能保持很高的精度，在航天航空這種對壓力精度要求特別嚴格的領域，壓阻式傳感器得到了廣泛的應用。應變式傳感器廣泛用于力、力矩、壓力和加速度等參數的測量。此外，壓力傳感器還有電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。
