壓力傳感器技術(shù)及其應(yīng)用
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壓力傳感器廣泛應(yīng)用于水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電 力、船舶、機(jī)床、管道等工業(yè)自控環(huán)境中。
傳統(tǒng)的測(cè)力方法是利用彈性材料的形變和位移來表示,它的體積大、便攜性差 輸出信號(hào)是非電量。隨著微電子的發(fā)展,半導(dǎo)體壓力傳感器的出現(xiàn),使壓力傳感器 有了長(zhǎng)足進(jìn)步。試驗(yàn)機(jī)壓力傳感器的種類繁多.按照制作原理可以分為利用壓電效應(yīng)制成的壓電式傳 感器、利用壓阻效應(yīng)制成的壓阻式傳感器和利用應(yīng)變效應(yīng)制成的應(yīng)變式傳感器。這些傳感器利用不同的原理和不同的材料在不同場(chǎng)合發(fā)揮著重要作用。壓電傳感器只能用于動(dòng)態(tài)測(cè)量,這是因?yàn)橥饬ψ饔迷趬弘娫袭a(chǎn)生的電荷只有在無泄漏的情況下才能保存,需要測(cè)量回路具有無限大的輸人阻抗,這實(shí)際上是不可能的,因此壓電式傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量。壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、 壓力和力等的測(cè)量中。壓阻式傳感器對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的測(cè)量都能保持很高的精度,在航天航空這種對(duì)壓力精度要求特別嚴(yán)格的領(lǐng)域,壓阻式傳感器得到了廣泛的應(yīng)用。應(yīng)變式傳感器廣泛用于力、力矩、壓力和加速度等參數(shù)的測(cè)量。此外,壓力傳感器還有電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。
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